主动轴

X

X

X

X

机械接口

M10×1安装螺纹（N-472.110；N-472.110Y）

9.5毫米螺栓（无螺纹部）（N-472.120；N-472.120Y）

M10×1安装螺纹或9.5毫米螺栓（无螺纹部），真空兼容至10^-6百帕

M10×1安装螺纹（N-472.210；N-472.210Y）

9.5毫米螺栓（无螺纹部）（N-472.220；N-472.220Y）

M10×1安装螺纹或9.5毫米螺栓（无螺纹部），真空兼容至10^-6 百帕

运动和定位

行程

7.5

7.5

13

13

毫米

集成传感器

增量，光学

增量，光学

增量，光学

增量，光学

传感器信号

模拟量，1

模拟量，1

模拟量，1

模拟量，1

伏峰峰

分辨率*

0.03

0.03

0.03

0.03

纳米

单向重复精度**

200

200

200

200

纳米

最小位移**

50

50

50

50

纳米

最大速度，开环

3.6

3.6

3.6

3.6

毫米/分

连续操作中的推荐最大速度。

2

2

2

2

毫米/分.

机械性能

保持力、断电

>100

>100

>100

>100

牛

馈通力（主动）

22

22

22

22

牛

驱动性能

驱动类型

PIShift压电陶瓷惯性驱动器

PIShift压电陶瓷惯性驱动器

PIShift压电陶瓷惯性驱动器

PIShift压电陶瓷惯性驱动器

电机电压

80

80

80

80

伏峰峰

其他

工作温度范围

10 到 40

10 到 40

10 到 40

10 到 40

°C

材料

螺丝：不锈钢 外壳：铝

螺丝：不锈钢 外壳：铝

螺丝：不锈钢 外壳：铝

电缆长度

2

2

2

2

米

连接器

促动器：Sub-D15（公）

促动器：Sub-D15（公）

促动器：Sub-D15（公）

促动器：Sub-D15（公）

推荐控制器/驱动器

E-871

E-871

E-871

E-871