极其精确和可靠的定位。用于在高负载时进行平稳馈通的交叉滚柱导轨。应力消除铝基座可实现高稳定性。带直流电机和两相步进电机的驱动器变型。非接触式限位开关。
电机轴上带集成式旋转编码器（带直流电机的变型）。
集成线性编码器。运动平台的直接位置测量，动力传动系统中的机械游隙或滞后对定位精度无影响
工业和科研，如半导体检验、光纤对准。
技术参数：
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6635911030
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6635921030
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66359x1230
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单位
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公差
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带直流电机和旋转编码器的Z向位移台
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带步进电机的Z向位移台
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也带线性编码器（直接位置测量）
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主动轴
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Z
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Z
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Z
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运动和定位
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行程
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13
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13
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毫米
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集成传感器
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旋转编码器
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线性编码器
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传感器分辨率 旋转编码器
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5000
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步/圈
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设计分辨率
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0.0134
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1.34（全步）
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0.05
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微米
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典型值
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最小位移
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0.5
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0.5
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0.1
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微米
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单向重复精度
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0.5
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0.5
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0.1
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微米
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空回
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2
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2
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微米
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双向重复性
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3
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3
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±0.1
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微米
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串扰，角度误差xry（螺距）
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±100
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±100
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微弧度
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串扰，角度误差xrz（偏转角）
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±100
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±100
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微弧度
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速度
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6
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6
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毫米/秒
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最大
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机械特性
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负载容量
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200
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200
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牛
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最大
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保持力
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30
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60
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牛
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最大
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驱动特性
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电机类型
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直流电机
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两相步进电机
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工作电压
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0至±12
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伏
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电机功率
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17
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瓦
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限位开关
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光学
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光学
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其他
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工作温度范围
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-20 到 50
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-20 到 50
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°C
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材料
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铝，阳极氧化致黑
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铝，阳极氧化致黑
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推荐控制器/驱动器
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C-863（单通道）
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SMC Hydra（双通道）
C-663（单通道）
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SMC Hydra（双通道）
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