UPL-120 精密Z向位移台_飞创仪器

安徽飞创仪器

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产品名称:UPL-120 精密Z向位移台
产品型号:
详细资料

参考级Z向位移台

    极其精确和可靠的定位。用于在高负载时进行平稳馈通的交叉滚柱导轨。应力消除铝基座可实现高稳定性。带直流电机和两相步进电机的驱动器变型。非接触式限位开关。

位置测量

    电机轴上带集成式旋转编码器(带直流电机的变型)。

    集成线性编码器。运动平台的直接位置测量,动力传动系统中的机械游隙或滞后对定位精度无影响

应用领域

   工业和科研,如半导体检验、光纤对准。

技术参数:

6635911030

6635921030

66359x1230

单位

公差

带直流电机和旋转编码器的Z向位移台

带步进电机的Z向位移台

也带线性编码器(直接位置测量)

主动轴

Z

Z

Z


运动和定位

行程

13

13

毫米

集成传感器

旋转编码器

线性编码器

传感器分辨率 旋转编码器

5000

步/圈

设计分辨率

0.0134

1.34(全步)

0.05

微米

典型值

最小位移

0.5

0.5

0.1

微米

单向重复精度

0.5

0.5

0.1

微米

空回

2

2

微米

双向重复性

3

3

±0.1

微米

串扰,角度误差xry(螺距)

±100

±100

微弧度

串扰,角度误差xrz(偏转角)

±100

±100

微弧度

速度

6

6

毫米/秒

最大


机械特性

负载容量

200

200

最大

保持力

30

60

最大


驱动特性

电机类型

直流电机

两相步进电机

工作电压

0至±12

电机功率

17

限位开关

光学

光学


其他

工作温度范围

-20 到 50

-20 到 50

°C

材料

铝,阳极氧化致黑

铝,阳极氧化致黑

推荐控制器/驱动器

C-863(单通道)

SMC Hydra(双通道)

C-663(单通道)

SMC Hydra(双通道)