U-521 PILine®线性定位平台_飞创仪器

安徽飞创仪器

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关于我们
产品名称:U-521 PILine®线性定位平台
产品型号:
详细资料

精密级线性定位平台

    PILine®平台尤其适合要求快速精密定位的应用。关机后,自锁驱动器保持平台位置的机械稳定。因而可大大减少能量消耗和热量产生。蓄电池驱动或热敏型的低占空比应用可得益于这些特点。轴的位置通过一个编码器和一个光学参考开关测量,该开关允许可靠的可重复运动。压电电机驱动器原理及其电气操作成本低,可定制。

PILine®超声波压电电机

    作为PILine®超声波压电电机不可或缺的一部分,压电陶瓷促动器上被施加预载,通过一个耦合元件抵住移动导向转子。在100至200千赫兹的高频交流电压的作用下,压电陶瓷促动器被激发产生超声波谐振。促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动。建立的进给为几纳米每循环;高频率带来高速度。在压电陶瓷促动器上相对于动轮施加预载可确保驱动器在静止状态下和关机时自锁。

采用增量编码器实现直接位置测量

    非接触式光学编码器以极高的精度直接在运动平台上测量实际位置,因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。

有效专利

美国专利号为6,765,335B2

欧洲专利号为1267425B1

应用领域

显微操纵、自动化、生物科技、样本操作、样本定位、空间有限的应用、真空应用达10-6 百帕(可选)。

技术参数:

U-521.23

U-521.24

单位

公差


运动和定位

主动轴

x

x

行程

18

18

毫米

速度,闭环

200

200

毫米/秒

最大

最小位移

2

0.3

微米

典型值

系统分辨率

0.4

0.1

微米

双向重复性

±2

±0.2

微米

线性误差(全行程范围内)

8

4

微米

螺距

±300

±300

微弧度

偏转角

±300

±300

微弧度


传感器

传感器类型

增量编码器

增量编码器

测量原理

光学

光学

测量方法

直接测量

直接测量

传感器分辨率

0.4

0.1

微米

典型值


机械负载能力

推力

2

2

最大

拉力

2

2

最大


驱动性能

电机类型

PILine®超声波压电电机,性能级别1

PILine®超声波压电电机,性能级别1

驱动力

2

2

最大

保持力

2

2

最大


连接器

电机/传感器

1×Sub-D,15-针(公)

1×Sub-D,15-针(公)


其他

参考点开关

光学

光学

工作温度

0 到 40

0 到 40

°C

材料

铝,阳极氧化致黑

铝,阳极氧化致黑

质量(平台不带电缆和连接器(公头))

40

40

质量(平台带电缆和连接器(公头))

160

160

电缆长度

1.5

1.5

典型值