六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小 真空兼容型可达10-6百帕.
无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够精确对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触，可无磨损地平稳运行，因此能够实现较长的使用寿命。
科研和工业，标准和真空环境。用于微制造、医药技术、刀具控制。
技术参数：
|
|
H-811.I2
|
单位
|
公差
|
|
主动轴
|
X，Y，Z，θX，θY，θZ
|
|
|
|
运动和定位
|
|
|
|
|
X、Y向上的行程*
|
±17, ±16
|
毫米
|
|
|
Z向上的行程*
|
±6.5
|
毫米
|
|
|
θX、θY向上的行程*
|
±10, ±10
|
°
|
|
|
θZ向上的行程*
|
±21
|
°
|
|
|
促动器设计分辨率
|
5
|
纳米
|
|
|
X、Y向上的最小位移
|
0.2
|
微米
|
典型值
|
|
Z向上的最小位移
|
0.08
|
微米
|
典型值
|
|
θX、θY、θZ向上的最小位移
|
2.5
|
微弧度
|
典型值
|
|
X、Y向上的空回
|
0.2
|
微米
|
典型值
|
|
Z向上的空回
|
0.06
|
微米
|
典型值
|
|
θX、θY向上的空回
|
4
|
微弧度
|
典型值
|
|
θZ向上的空回
|
4
|
微弧度
|
典型值
|
|
X、Y向上的重复精度
|
±0.15
|
微米
|
典型值
|
|
Z向上的重复精度
|
±0.06
|
微米
|
典型值
|
|
θX、θY向上的重复精度
|
±2
|
微弧度
|
典型值
|
|
θZ向上的重复精度
|
±3
|
微弧度
|
典型值
|
|
X、Y和Z向上的最大速度
|
20
|
毫米/秒
|
|
|
θX、θY、θZ向上的最大速度
|
500
|
毫弧度/秒
|
|
|
Typ. X、Y和Z向上的典型速度
|
10
|
毫米/秒
|
|
|
Typ. θX、θY、θZ向上的速度
|
240
|
毫弧度/秒
|
|
|
机械特性
|
|
|
|
|
X、Y向上的刚性
|
0.7
|
牛/微米
|
|
|
Z向上的刚性
|
8
|
牛/微米
|
|
|
负载能力（底板为水平方向/任意方向）
|
5 / 2.5
|
千克
|
最大
|
|
保持力，断电（底板为水平方向/任意方向）
|
15 / 2.5
|
牛
|
最大
|
|
电机类型
|
BLDC电机
|
|
|
|
其他
|
|
|
|
|
工作温度范围
|
0 到 50
|
°C
|
|
|
材料
|
不锈钢，铝
|
|
|
|
质量
|
2.2
|
千克
|
±5 %
|
|
电缆长度
|
0.5 + 3
|
米
|
±10 毫米
|
