双轴，串联运动。带机械杠杆运动放大器的无摩擦柔性铰链接头。电容式位置传感器实现最大稳定性和线性度
带全瓷绝缘的压电陶瓷促动器 使用寿命更长、防潮性能佳、工作温度达80摄氏度
科研和工业中的样本操作和定位，也适用于透射光应用
技术参数：
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初步数据
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P-763.22C
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单位
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主动轴
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X, Y
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运动和定位
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集成传感器
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电容式传感器
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X、Y向上的闭环行程
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200
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微米
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X、Y向上的开环分辨率
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1
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纳米
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X、Y向上的闭环分辨率
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2
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纳米
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X、Y向上的线性误差
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0.02
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%
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X、Y向上的重复精度
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±5
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纳米
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机械特性
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带负载时X向上的谐振频率
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180赫兹（260克）
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赫兹
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负载容量
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10
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牛
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驱动特性
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压电陶瓷
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PICMA P-887
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X、Y向上的电容
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12.8
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微法
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其他
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工作温度范围
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-20 到 80
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°C
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材料
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铝、钢
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尺寸
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70 毫米 × 70 毫米 × 25 毫米
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通孔尺寸
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30毫米×30毫米
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电缆长度
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1.5
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米
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连接
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1个Sub-DMix，1个通道，分别用于X和Y轴
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