P-763 紧凑型XY纳米定位系统_飞创仪器

安徽飞创仪器

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关于我们
产品名称:P-763 紧凑型XY纳米定位系统
产品型号:
详细资料

精密级纳米定位系统

双轴,串联运动。带机械杠杆运动放大器的无摩擦柔性铰链接头。电容式位置传感器实现最大稳定性和线性度

PICMA高性能压电陶瓷驱动器

带全瓷绝缘的压电陶瓷促动器 使用寿命更长、防潮性能佳、工作温度达80摄氏度

应用领域

科研和工业中的样本操作和定位,也适用于透射光应用

技术参数:

初步数据

 P-763.22C


单位

主动轴                                        

X, Y


运动和定位

集成传感器

电容式传感器

X、Y向上的闭环行程

200

微米

X、Y向上的开环分辨率

1

纳米

X、Y向上的闭环分辨率

2

纳米

X、Y向上的线性误差

0.02

%

X、Y向上的重复精度

±5

纳米


机械特性

带负载时X向上的谐振频率

180赫兹(260克)

赫兹

负载容量

10


驱动特性

压电陶瓷

PICMA P-887

X、Y向上的电容

12.8

微法


其他

工作温度范围

-20 到 80

°C

材料

铝、钢

尺寸

70 毫米 × 70 毫米 × 25 毫米

通孔尺寸

30毫米×30毫米

电缆长度

1.5

连接

1个Sub-DMix,1个通道,分别用于X和Y轴