两条正交偏摆轴,公共旋转中心。并联运动设计可实现两条轴具有同样的性能特点。柔性铰链导向可实现无摩擦运动和高刚性。ID芯片支持用于快速启动。
带全瓷绝缘的压电陶瓷促动器 使用寿命更长、对湿度不敏感、工作温度高。
图像处理,图像稳像。激光束偏转。扫描显微镜。材料处理,平版印刷。光学过滤器,光学开关。
技术参数:
初步数据
|
S-335.2SH
|
单位
|
公差
|
主动轴
|
θX、 θY
|
|
|
运动和定位
|
|
|
|
集成传感器
|
应变片传感器
|
|
|
偏摆角,闭环(0至120伏时的静态运动)
|
±17.5
|
毫弧度
|
|
开环分辨率
|
0.1
|
微弧度
|
典型值
|
闭环分辨率
|
0.2
|
微弧度
|
典型值
|
线性度
|
0.05(单向)
|
%
|
典型值
|
重复精度
|
1(双向)
|
微弧度
|
典型值
|
机械特性
|
|
|
|
谐振频率,空载
|
2.0
|
千赫兹
|
±20 %
|
带负载时的谐振频率(带直径为12.7 × 3毫米的Zerodur反射镜)
|
1.7
|
千赫兹
|
±20 %
|
带负载时的谐振频率(带直径为25.4 × 5毫米的Zerodur反射镜)
|
0.7
|
千赫兹
|
±20 %
|
旋转中心和平台表面之间的间隙
|
3.3
|
毫米
|
±0.5 毫米
|
驱动特性
|
|
|
|
陶瓷类型
|
PICMA P-885
|
|
|
每轴的电容
|
6.2
|
微法
|
±20 %
|
其他
|
|
|
|
ID芯片功能
|
是
|
|
|
工作温度范围
|
0 到 50
|
°C
|
|
材料 平台
|
钛金属
|
|
|
质量
|
0.065
|
千克
|
±5 %
|
电缆长度
|
2.0
|
米
|
+0.1米
|
传感器/电压连接
|
Sub-D37连接器(公头)
|
|
|