无摩擦、免维护、无磨损零部件带来的超高可靠性。真空兼容型可达10-9 百帕
用于精密导向的无摩擦柔性铰链导向设计与实现大行程的杠杆放大相结合。由全瓷绝缘PICMA促动器驱动，具有超长使用寿命
无接触式测量法（直接测量）。无摩擦亚纳米级分辨率。极佳的线性度。达10千赫兹的高带宽
科研和工业。真空环境达10-9 百帕
技术参数：
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P-620.1CD
P-620.1CL
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P-621.1CD
P-621.1CL
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P-622.1CD
P-622.1CL
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P-625.1CD
P-625.1CL
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P-628.1CD
P-628.1CL
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P-629.1CD
P-629.1CL
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单位
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公差
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主动轴
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X
|
X
|
X
|
X
|
X
|
X
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运动和定位
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集成传感器
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电容式
|
电容式
|
电容式
|
电容式
|
电容式
|
电容式
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开环行程，-20至120伏
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60
|
120
|
300
|
600
|
950
|
1800
|
微米
|
最小（20 % / -0 %）
|
|
闭环行程
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50
|
100
|
250
|
500
|
800
|
1500
|
微米
|
|
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闭环/开环分辨率
|
0.2 / 0.1
|
0.4 / 0.2
|
0.7 / 0.4
|
1.4 / 0.5
|
1.8 / 0.5
|
3 / 2
|
纳米
|
典型值
|
|
闭环线性误差
|
0.02
|
0.02
|
0.02
|
0.03
|
0.03*
|
0.03**
|
%
|
典型值
|
|
重复精度
|
±1
|
±1
|
±1
|
±5
|
±10
|
±14
|
纳米
|
典型值
|
|
螺距/偏转角
|
±3
|
±3
|
±3
|
±6
|
±6
|
±30 / ±10
|
微弧度
|
典型值
|
|
机械特性
|
|
运动方向上的刚性
|
0.42
|
0.35
|
0.2
|
0.1
|
0.12
|
0.13
|
牛/微米
|
±20 %
|
|
空载谐振频率
|
1100
|
800
|
400
|
215
|
125
|
125
|
赫兹
|
±20 %
|
|
谐振频率@ 20克
|
550
|
520
|
340
|
180
|
115
|
120
|
赫兹
|
±20 %
|
|
谐振频率@ 120克
|
260
|
240
|
185
|
110
|
90
|
110
|
赫兹
|
±20 %
|
|
运动方向上的推/拉力
|
10
|
10
|
10
|
10
|
10
|
10
|
牛
|
最大
|
|
负载容量
|
10
|
10
|
10
|
10
|
10
|
10
|
牛
|
最大
|
|
侧力
|
10
|
10
|
10
|
10
|
10
|
8
|
牛
|
最大
|
|
驱动特性
|
|
压电陶瓷
|
PICMA P-883
|
PICMA P-885
|
PICMA P-885
|
PICMA P-885
|
PICMA P-887
|
PICMA P-888
|
|
|
|
电容
|
0.35
|
1.5
|
3.1
|
6.2
|
19
|
52
|
微法
|
±20 %
|
|
动态操作电流效率
|
0.9
|
1.9
|
1.9
|
1.6
|
3
|
4.3
|
微安/(赫兹 × 微米)
|
±20 %
|
|
其他
|
|
工作温度范围
|
-20 到 80
|
-20 到 80
|
-20 到 80
|
-20 到 80
|
-20 到 80
|
-20 到 80
|
°C
|
|
|
材料
|
铝
|
铝
|
铝
|
铝
|
铝
|
铝
|
|
|
|
尺寸
|
30 毫米 × 30 毫米 × 12 毫米
|
40 毫米 × 40 毫米 × 15 毫米
|
50 毫米 × 50 毫米 × 15 毫米
|
60 毫米 × 60 毫米 × 15 毫米
|
80 毫米 × 80 毫米 × 17 毫米
|
100 毫米 × 100 毫米 × 22.5 毫米
|
|
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|
质量
|
0.11
|
0.16
|
0.2
|
0.24
|
0.38
|
0.72
|
千克
|
±5 %
|
|
电缆长度
|
1.5
|
1.5
|
1.5
|
1.5
|
1.5
|
1.5
|
米
|
±10 毫米
|
|
传感器/电压连接
|
CD版本：Sub-D特殊
CL版本：LEMO
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|
