在多轴并联系统中，所有促动器直接作用于单一运动平台。这意味着可以为所有轴设计相同的动态特性，从而大幅降低移动质量。额外优势：并联运动系统可比串行堆叠或嵌套系统设计得更紧凑。单个轴的误差和质量不会累积。
PICMA®促动器具有全瓷绝缘，因而其性能和使用寿命远远优于传统促动器。陶瓷绝缘层可保护整体式压电陶瓷块，以防止湿气或漏电流增大造成的故障。这么一来，即使是在极端环境条件下也可实现超高稳定性。对比机动化驱动器，此类驱动器无旋转件或摩擦。因而，该压电陶瓷促动器无空回、免维护、无磨损。
柔性铰链导向是一种没有静摩擦和滑动摩擦的元件。它基于固体（如钢材）的弹性形变（弯曲），没有滚动或滑动部件。柔性铰链元件具有高刚性和负载能力。柔性铰链导向无需维护、无磨损。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作，无需润滑剂。
电容式传感器直接在运动平台上测量位置（直接计量），工作时无接触。摩擦和滞后都不会影响测量，可同时实现优异的线性度数值和高位置分辨率。电容式传感器可实现最佳的分辨率、稳定性和带宽。
ID芯片位于Sub-D连接器。当平台在工厂内利用数字电控进行校准时，校准数据与特定产品信息被同时保存在ID芯片上。开机后，数字电控从已连接平台的ID芯片上读取数据。若平台的ID芯片包含校准数据，则其可被连接至任何合适的数字电控，无需重新校准。
光纤对准
显微镜应用
双光子聚合
纳米技术和纳米制造
技术参数：
|
初步数据
|
P-616.3C
|
单位
|
公差
|
运动和定位
|
|
|
|
|
主动轴
|
X、Y、Z
|
|
|
|
开环行程，-20至120伏
|
110/轴
|
微米
|
+20 % / -0 %
|
|
闭环行程
|
100/轴
|
微米
|
+20 % / -0 %
|
|
分辨率，1秒，开环*
|
0.3
|
纳米
|
典型值
|
|
分辨率，1秒，闭环*
|
0.4
|
纳米
|
典型值
|
|
线性误差，全行程范围内，带数字控制器(E-727.3CD)
|
0.03
|
%
|
典型值
|
|
双向重复精度，1秒，10%行程范围内
|
<10
|
纳米
|
典型值
|
|
双向重复精度，1秒，100%行程范围内
|
<15
|
纳米
|
典型值
|
传感器
|
|
|
|
|
传感器类型
|
电容式传感器
|
|
|
机械特性
|
|
|
|
|
刚度
|
0.5
|
牛/微米
|
±10 %
|
|
X/Y/Z向上的空载谐振频率
|
700
|
赫兹
|
±10 %
|
|
带38克负载的谐振频率 X / Y / Z
|
380
|
赫兹
|
±20 %
|
|
带100克负载的谐振频率 X / Y / Z
|
250
|
赫兹
|
±20 %
|
|
推力**， ***
|
15
|
牛
|
最大
|
|
保持力，被动**， ***
|
15
|
牛
|
最大
|
|
最大允许转矩***
|
0.4
|
牛米
|
最大
|
|
负载能力****
|
300
|
克
|
最大
|
驱动特性
|
|
|
|
|
陶瓷类型
|
PICMAP-885.50
|
|
|
|
电容
|
1.5/轴
|
微法
|
±20 %
|
其他
|
|
|
|
|
工作温度范围 *****
|
-20 到 80
|
°C
|
|
|
材料
|
铝、钢
|
|
|
|
尺寸
|
40 × 40 × 40
|
毫米
|
|
|
移动质量（无负载）
|
0.021
|
千克
|
|
|
不含电缆的质量
|
0.125
|
千克
|
|
|
包含电缆在内的质量
|
0.4
|
千克
|
|
|
电缆长度
|
1.5
|
米
|
±10 毫米
|
|
连接
|
Sub-D25W3（公）
|
|
|
