强大的性能

• 可选面积能谱

• 深度剖析

• 微聚焦单色器

• 高分辨率化学态能谱

• 快照采集

• 绝缘样品分析

• 定量化化学成像 

无可比拟的易用性

• 一键式样品导航和实验设定

• 自动样品传输

• 按需校准

• 全能谱仪设定

• 离子枪设定

• 完全计算机操作 

世界一流的软件
Thermo Scientific Advantage数据系统，包括：
—仪器控制
—数据采集
—数据解析
—数据处理
—报告生成
—数据存档管理
—审查跟踪日志
—系统性能日志 

1. 运动范围   100 - 4000eV

2. 分析仪类型   180°双聚焦半球型分析器，128通道检测器

3. X 射线单色器  Al Ka 微聚焦

4. X 射线源类型  单色化、微聚焦 Al K-aX

5. 射线光斑尺寸  30 - 400µm，步长为5 µm

6. 样品区域   60x60 mm 

7. 最大厚度（公制）样品  20 mm

8.真空系统  2 x 260 l/s 涡轮分子泵，用于进样室和分析室，自动运行，3钛丝钛升华泵（TSP）